堆叠的垂直晶体管存储器单元.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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堆叠的垂直晶体管存储器单元.pdf

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一种半导体器件，包括堆叠的晶体管存储器单元。所述堆叠的晶体管存储器单元包括含有多个底部晶体管的底部层级，所述多个底部晶体管包括至少一个非浮置晶体管和至少一个浮置晶体管。所述至少一个浮置晶体管具有与所述堆叠的晶体管存储器单元的其他晶体管电断开的至少一个端子。所述堆叠的晶体管存储器单元还包括含有至少一个顶部晶体管的顶部层级，以及交叉耦合部，所述交叉耦合部包括外延区域(epi)连接部和在所述顶部层级与所述底部层级之间的和栅极到epi连接部。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114641861 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202080076297.3 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所