有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共17页，其中可免费阅读16页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开的一种集成压阻反馈的电热式微镜，属于微纳光学系统技术领域。本发明所述驱动器包括常规驱动器和岛状结构驱动器。通过在微镜上集成具有角度传感作用的压阻传感器，以实时检测微镜的偏转姿态，并将该姿态信息反馈到控制中枢，通过压阻反馈提高微镜控制精度。此外，通过优化驱动器应力分布，优化压阻输出，实现较大压阻电压输出的同时，通过对压阻热绝缘隔离有效降低压阻区域的温度，进而抑制压阻的热噪声，进一步提高压阻对电热式微镜反馈控制精度。本发明的微镜驱动器采用并联对称式的驱动器，能够产生较大的驱动能力，增大微镜
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114647077 B
(45)授权公告日 2023.03.31
(21)申请号 202210269727.4 审查员 吴腊红
(22)申请日 2022.03.18
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载；后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容，完善相关专利服务，助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意！
文档评论（0）