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本发明公开了一种压电致动器;其以压电陶瓷PZT材料的逆压电效应作为输出,通过组合叠堆的不同极化运动方向实现多维致动,是精密尺度下的机电一体化设计产品;其在结构中包含至少一个组合叠堆,组合叠堆包含Z叠堆,X叠堆,Y叠堆各一个,共三个致动方向。本发明在尺蠖式运动方式下,压电致动器中的组合叠堆分为至少两个叠堆组,每组包含两个组合叠堆,通过交替致动而持续输出高精度位移。本发明能够不依赖柔性导向放大机构等机械结构提供二维大行程致动,解决了常规压电叠堆致动器不能多轴输出的问题,极大满足了微纳机械工程与精密运
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114629374 A
(43)申请公布日 2022.06.14
(21)申请号 202210190095.2
(22)申请日 2022.02.28
(71)申请人 复旦大学
地址 200433 上海
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