具有致动透镜的紧凑型线扫描MEMS飞行时间系统.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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具有致动透镜的紧凑型线扫描MEMS飞行时间系统.pdf

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本公开涉及具有致动透镜的紧凑型线扫描MEMS飞行时间系统。本文公开了一种光学模块，包括：衬底以及由衬底承载的光学检测器、激光发射器和支撑结构。光学层包括：固定部分，由支撑结构承载；可移动部分，通过弹簧结构被附固在固定部分的相对侧之间的；以及透镜系统，由可移动部分承载。可移动部分具有在其中所限定的至少一个开口，透镜系统跨至少一个开口而延伸，可移动部分具有跨至少一个开口而延伸的至少一个支撑部分以支撑透镜系统。光学层还包括MEMS致动器，该MEMS致动器用于可移动部分相对于固定部分的平面内移动。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114637109 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202111534662.3 (22)申请日 2021.12.15 (30)优先权数据