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本发明涉及一种样品处理装置的局部真空保持装置,更加详细地,涉及一种样品处理装置的局部真空保持装置,其为了观察或者加工样品而产生带电粒子,在向样品照射的路径上形成孔隙,从而可以提高向样品传输带电粒子的效率,而且能够在样品周围形成局部真空,从而能够防止带电粒子的散射以及用于构成图像的二次电子等的消失,为了形成以及强化局部真空,可以通过双重的局部真空保持结构提高局部真空的有效性,为了有效保持真空,适当调整气体吸入和惰性气体的排放压力。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114649175 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202011580938.7
(22)申请日 2020.12.28
(30)优先权数据
10-2020-0178645
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