研磨垫材料、研磨垫以及制备方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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研磨垫材料、研磨垫以及制备方法.pdf

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本发明提供一种研磨垫材料，包括：以异氰酸酯、多元醇为原料制备的具有多种化学链长度的聚酯，其中所述多元醇至少部分为以具有电特性的功能材料为原料制备的多元醇。还提供一种研磨垫，包括：研磨层，采用研磨垫材料制成，所述研磨垫材料以异氰酸酯、多元醇为原料制备的具有多种化学链长度的聚酯，其中所述多元醇至少部分为以具有电特性的功能材料为原料制备的多元醇。本发明提供的技术方案能够使研磨垫具有任意电特性，从而能够适应多种材料膜层的研磨。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114656609 A (43)申请公布日 2022.06.24 (21)申请号 202011555083.2 B24B 37/24 (2012.01)