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本申请公开了一种电化学刻蚀装置及刻蚀方法,所述电化学刻蚀装置包括:刻蚀调节模块、控制电路模块和电化学池,所述刻蚀调节模块中设置有待制备的电子源器件,所述电子源器件的一端与所述控制电路模块连接,另一端浸没在所述电化学池内,所述电化学池的一端与所述控制电路模块连接;其中,所述控制电路模块用于对所述电子源器件和所述电化学池施加预设电压和电流,以使得浸没在所述电化学池内的电子源器件进行电解刻蚀,形成具有微凸起针尖的电子源器件。应用本发明提供的技术方案,通过电化学刻蚀法,将LaB6的材料特性和理想的电子束
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114639579 A
(43)申请公布日 2022.06.17
(21)申请号 202210262674.3
(22)申请日 2022.03.17
(71)申请人 中国科学技术大学
地址 23002
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