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本发明涉及一种具有承载体(12)和第一至第三扫描单元(20.1至20.3)的位置测量装置(10)。第一测量分区(14.1)包括多个沿第一测量方向(X)周期性排列的分区结构(16.1),其中,第一测量分区(14.1)的分区结构(16.1)分别平行于第一方向(P1)延伸。第二测量分区(14.2)包括多个沿第二测量方向(Y)周期性排列的分区结构(16.2),其中,第一测量方向(X)和第二测量方向(Y)彼此垂直伸延。参考标记(18)在第二方向(P2)上延伸,其中,第一方向(P1)和第二方向(P2)彼此间
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114667438 A
(43)申请公布日 2022.06.24
(21)申请号 202080061877.5 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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