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本发明提供一种用于片状结构的承载结构、包装装置、检测方法及包装方法,承载结构中承载部至少具有一个,固定设置于基础部上,且具有朝向基础部的内凹形状,内凹形状与片状结构的形状相匹配。片状结构通过真空吸附的方式保持,并由真空吸附设备施加朝向承载部的正压力,以使片状结构由承载部的内凹形状容纳。凸起部固定设置于承载部的周向,并凸出于基础部,且部分或全部地包围承载部,限制气流沿基础部的平面流动。本发明的实施例利用承载部容纳片状结构,便于进行加工或检测,还能够对真空吸附设备的气流进行限制。第一包装部扣设在承载
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114620280 A
(43)申请公布日 2022.06.14
(21)申请号 202210424636.3
(22)申请日 2022.04.21
(71)申请人 嘉兴驭光光电科技有限公司
地址 3
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