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本发明提供一种显示装置、显示方法以及存储介质,能够容易地掌握过去执行的基板处理的状态。显示装置是在显示画面中显示与对多个基板执行规定的基板处理的基板处理装置中的处理有关的信息的装置。显示装置具备显示控制部,所述显示控制部能够根据来自用户的指示,使显示画面中显示基于过去在基板处理装置内拍摄多个基板中的作为显示对象的基板所得到的第一摄像数据的图像,并且能够根据来自用户的指示,使显示画面中显示基于过去在基板处理装置内拍摄作为显示对象的基板所得到的第二摄像数据的图像。第一摄像数据与第二摄像数据是在不同的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114650396 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202111498264.0
(22)申请日 2021.12.09
(30)优先权数据
2020-210614 202
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