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一种处理室,其包括:反应室,其具有处理区域;处理气体入口,其与处理区域连通;第一受激发物质生成区,其与处理气体入口连通;以及第二受激发物质生成区,其与处理气体入口连通。一种处理基板的方法,其包括以下步骤:在处理区域内加载基板;激活第一受激发物质生成区,以在第一脉冲期间向处理区域提供第一受激发物质前驱物;以及激活第二受激发物质生成区,以在第二脉冲期间向处理区域提供不同于第一受激发物质前驱物的第二受激发物质前驱物。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114628217 A
(43)申请公布日 2022.06.14
(21)申请号 202210250487.3 H01L 21/3065 (2006.01)
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