半导体零部件、等离子处理装置及耐腐蚀涂层的形成方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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半导体零部件、等离子处理装置及耐腐蚀涂层的形成方法.pdf

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一种半导体零部件、等离子处理装置及形成耐腐蚀涂层的方法，其中，半导体零部件包括：零部件本体；耐腐蚀涂层，其材料包括稀土氧化物或者稀土氟化物，位于所述零部件本体的表面，所述耐腐蚀涂层具有修饰面，所述修饰面具有原子缺陷，所述原子缺陷被填充离子修饰。所述零部件本体表面的耐腐蚀涂层中的原子缺陷较少，使耐腐蚀涂层具有较强的耐腐蚀能力。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114649179 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202011507108.1 (22)申请日 2020.12.18 (71)申请人中微半导体设备（上海）股份有限公