具有可旋转工作台的晶片处理设备.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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具有可旋转工作台的晶片处理设备.pdf

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本公开涉及一种用于处理晶片的晶片处理设备，该设备具有可旋转工作台，其设置有支撑件，该支撑件构造和布置成支撑用于保持多个晶片的可移除保持器。可以提供驱动组件，以向可旋转工作台提供围绕垂直于工作台的竖直轴线的旋转运动；并且供应管线可以构造和布置成向可旋转工作台提供效用。驱动组件可被控制和配置成产生工作台在顺时针和逆时针两个方向上的旋转运动，以避免供应管线的断裂。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114649247 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202111534100.9 (22)申请日 2021.12.15 (30)优先权数据 63/127,589 2020