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2023-05-13 发布于四川
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等离子体处理装置.pdf

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本发明提供一种具有能够在传热气体的通孔中防止异常放电的埋入部件的等离子体体处理装置。等离子体处理装置包括载置台和埋入部件，所述载置台具有：电介质部件，其具有用于载置被处理体的载置面和与所述载置面相反侧的背面，且形成有贯通所述载置面和所述背面的第一通孔；和基台，其具有支承所述电介质部件的支承面，且形成有与所述第一通孔连通的第二通孔，所述埋入部件配置于所述第一通孔和所述第二通孔的内部，所述埋入部件具有配置于所述第一通孔的第一埋入部件和配置于所述第二通孔的第二埋入部件，所述第二埋入部件的刚性比所述第一

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114628216 A (43)申请公布日 2022.06.14 (21)申请号 202111468822.9 (22)申请日 2021.12.03 (30)优先权数据 2020-206801 202