液体喷出设备.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.97万字
约 28页
2023-05-13 发布于北京
举报
版权申诉

液体喷出设备.pdf

1、本文档共28页，其中可免费阅读27页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

液体喷出设备包括：两个流路，用于向元件基板供给或回收液体以喷出该液体；循环供给流路，用于向一个流路供给液体；循环回收流路，用于从另一流路回收液体；以及多个开闭阀机构，用于控制各个流路之间的连通和切断，开闭阀机构包括位于流路之间的开口、能够使开口开闭的密封部、用于沿靠近或远离开口的方向对密封部施力的施力构件以及用于使密封部抵抗施力构件的施力移动的移动机构，液体排出装置通过移动机构使至少两个开闭阀机构的密封部一起移动来控制该至少两个开闭阀机构的开闭。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114643784 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202111549207.0 (22)申请日 2021.12.17 (30)优先权数据 2020-211644 202