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本申请提供一种半导体器件的制备方法及半导体器件。该制备方法包括:提供基底;在基底上形成沿第一方向延伸的多个第一结构;在第一结构的侧面形成牺牲层;在牺牲层的侧面形成外部间隔层;去除部分外部间隔层得到图案化的外部间隔层,以暴露出部分牺牲层;去除牺牲层,以于图案化的外部间隔层及第一结构之间形成空气间隙。上述制备方法可使牺牲层完整去除,并提高空气间隙周围的表面的均匀性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114695270 A
(43)申请公布日 2022.07.01
(21)申请号 202011631057.3
(22)申请日 2020.12.30
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
地址 230
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