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本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法,所述方法包括:提供剥离基板,在所述剥离基板上制备带至少一个弹性连接结构的压电薄膜堆叠结构;提供一带空腔的基底;将所述压电薄膜堆叠结构置于所述基底的空腔中,并使所述压电薄膜堆叠的至少一个弹性连接结构与所述基底固定连接;剥离所述剥离基板,形成薄膜体声波谐振器;本申请解决了相关技术中的薄膜体声波谐振器在压电薄膜堆叠结构与基底在键合连接处发生断裂的问题,提高了谐振器在结构上的稳定性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114696766 A
(43)申请公布日 2022.07.01
(21)申请号 202011565189.0
(22)申请日 2020.12.25
(71)申请人 杭州左蓝微电子技术有限公司
地址
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