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本申请涉及包括凹槽膜的边缘耦合器,揭示了包括边缘耦合器的结构和制造包括边缘耦合器的结构的方法。该结构包括在第一介电层上的波导核心区,以及在波导核心区和第一介电层上的第二介电层。波导核心区具有锥形区段,锥形区段的端面终止于邻近第一介电层的边缘。第二介电层包括第一沟槽和第二沟槽,第一沟槽和第二沟槽各自位于邻近波导核心区的锥形区段。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114690310 A
(43)申请公布日 2022.07.01
(21)申请号 202111269188.6
(22)申请日 2021.10.29
(30)优先权数据
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