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一种用于扫描探头中的探针位置测量的感应位置检测器,包括沿着探头中的中心轴线定位的线圈板配置。线圈板配置包括场产生线圈配置以及顶部和底部轴向和旋转感测线圈配置。场产生线圈配置产生变化的磁通量,并且线圈信号指示导电扰动器元件和/或探针位置。至少一个未对准补偿元件配置为减少由线圈板配置的至少一个线圈的未对准导致的信号偏移(例如,线圈板配置可以包括具有线圈位于其中的多个层的印刷电路板,并且至少一个线圈的未对准可以由作为制造过程的一部分的层对层配准中的配准误差导致,例如在制造公差内)。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114688957 A
(43)申请公布日 2022.07.01
(21)申请号 202111622422.9
(22)申请日 2021.12.28
(30)优先权数据
17/135,672 2020
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