- 1、本文档共20页,其中可免费阅读19页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请提供了一种激光退火设备及系统,激光退火设备包括:激光装置和光学补偿装置;激光装置用于向光学补偿装置发射激光光束;光学补偿装置包括分束结构和翻转结构;分束结构用于对激光光束进行反射和透射,分别得到第一光束和第二光束,并将第一光束和能量翻转后的第二光束叠加后输出;翻转结构位于分束结构的远离入射光束的一侧,用于对第二光束进行能量翻转。本申请的技术方案可提高激光光束的能量均一性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114695205 A
(43)申请公布日 2022.07.01
(21)申请号 202210314619.4 H01L 21/268 (2006.01)
您可能关注的文档
- 屏蔽层状态自动切换的沟槽型碳化硅IGBT器件及制备方法.pdf
- 一种环保型胶印油墨保温装置.pdf
- 一种基于深度学习的序列标注方法及应用.pdf
- 热成像模组和电子设备.pdf
- 热成像模组和电子设备.pdf
- 一种基于展馆的无线电传播控方法及系统.pdf
- 一种单向导湿速干多功能织物及制造方法.pdf
- 基于电磁监测的配电终端热插拔模块监测装置及方法.pdf
- 一种妇产科用手术工具收纳装置.pdf
- 一种基于分割等距重组曲线的复合材料层合板的建模方法.pdf
- 第十一章 电流和电路专题特训二 实物图与电路图的互画 教学设计 2024-2025学年鲁科版物理九年级上册.docx
- 人教版七年级上册信息技术6.3加工音频素材 教学设计.docx
- 5.1自然地理环境的整体性 说课教案 (1).docx
- 4.1 夯实法治基础 教学设计-2023-2024学年统编版九年级道德与法治上册.docx
- 3.1 光的色彩 颜色 电子教案 2023-2024学年苏科版为了八年级上学期.docx
- 小学体育与健康 四年级下册健康教育 教案.docx
- 2024-2025学年初中数学九年级下册北京课改版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年初中科学七年级下册浙教版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学信息技术(信息科技)六年级下册浙摄影版(2013)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学美术二年级下册人美版(常锐伦、欧京海)教学设计合集.docx
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)