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本发明公开一种加热器及加热系统,涉及半导体设备技术领域,能够有效避免加热器因清洁气体腐蚀产生的变形。该加热器包括:加热体以及设在加热体上的导热的承载件;所述承载件为耐腐蚀承载件。本发明提供的一种加热器用于半导体器件、半导体芯片制造。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114679800 A
(43)申请公布日 2022.06.28
(21)申请号 202011551339.2
(22)申请日 2020.12.24
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
地址 10
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