一种厚度测量系统、方法、电子设备及存储介质.pdfVIP

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2023-05-14 发布于北京
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一种厚度测量系统、方法、电子设备及存储介质.pdf

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本发明公开了一种厚度测量系统、方法、电子设备及存储介质，该系统包括：涡流传感器、驱动电路、采样反馈电路和控制单元，涡流传感器包括第一抽头和多个第二抽头；驱动电路接收外部输入的控制指令，根据控制指令生成振荡电流，驱动电路连接涡流传感器，涡流传感器根据振荡电流生成交变磁场，根据交变磁场感应待测样品生成反馈值；采样反馈电路采集涡流传感器的反馈值，将反馈值输入至控制单元，控制单元根据反馈值的变化控制涡流传感器档位的切换。本发明公开的系统，通过在涡流传感器中设置多个第二抽头，可使样品不同厚度时能够匹配到线

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114664685 A (43)申请公布日 2022.06.24 (21)申请号 202210330645.6 (22)申请日 2022.03.30 (71)申请人北京烁科精微电子装备有限公司地址