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一种用于扫描探头中的探针位置测量的感应位置检测器，包括沿着探头中的中心轴线定位的线圈板配置。线圈板配置包括围绕线圈板配置中的孔的场产生线圈配置、顶部轴向感测线圈配置和底部轴向感测线圈配置以及N个顶部旋转感测线圈和N个底部旋转感测线圈。一种探针联接的扰动器配置包括圆柱形扰动器元件，其配置为在线圈板配置的孔内移动和装配，并且在运动体积中沿着Z(轴向)和X‑Y(旋转)方向移动。场产生线圈配置产生变化的磁通量(例如包含圆柱形扰动器元件的全部或至少一部分)，并且线圈信号指示圆柱形扰动器元件和/或探针位置。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114688956 A
(43)申请公布日 2022.07.01
(21)申请号 202111622378.1
(22)申请日 2021.12.28
(30)优先权数据
17/135,665 2020
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