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一种移动机构及其驱动方法、电子设备和成像装置,所述移动机构,包括:基底;位于所述基底上的多个步进结构,所述步进结构包括:扭转机构,所述扭转机构包括:沿垂直于基底方向延伸的扭杆;位于所述扭杆底部的扭转可动电极;驱动所述扭转可动电极转动并带动扭杆摆动的扭转驱动电极;吸盘,位于所述扭转机构上,所述吸盘的底部设置有凹槽,用于容纳所述扭杆顶部,在扭杆摆动时产生移动;位于所述多个步进结构上的可移动载板,在所述吸盘的静电吸合作用下移动。本发明实施例中的方案,可以减少移动机构出现机械性卡死的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114697475 A
(43)申请公布日 2022.07.01
(21)申请号 202011567622.4
(22)申请日 2020.12.25
(71)申请人 中芯集成电路(宁波)有限公司
地址
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