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本发明公开了一种单光子源器件及其制备方法,通过设置电极层、单光子源层以及场发射微尖结构,其中,单光子源层为通过六方氮化硼材料形成的单光子源层,将单光子源层和场发射微尖结构键合,且场发射微尖结构的场发射区域覆盖所述单光子源层的发光中心,然后通过电极层施加电压,使得场发射微尖结构在电压作用下发射高能电子到单光子源层,使得所述单光子源层的发光中心发射光子,实现了能够在室温下运行的电泵浦的单光子源。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114695613 A
(43)申请公布日 2022.07.01
(21)申请号 202011634122.8
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 中国科学院微电子研
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