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本发明属于PIII批量处理技术领域,公开了一种提高轴承内圈外滚道表面注入均匀性的方法及验证方法,提高轴承内圈外滚道表面注入均匀性的方法包括:通过在对轴承内圈进行批量处理时,在端部套圈的外侧放置一与轴承滚道电位相同、并且外径与轴承套圈相近的几何体,并采用射频放电产生等离子体于氮气0.6Pa、注入电压20kV、注入电流3A,气体流量50Sccm、RF功率600W、脉冲宽度15μs、脉冲频率200Hz下进行高轴承内圈PIII批量注入处理,提高轴承内圈外滚道表面注入均匀性;本发明能够保证位于中间位置的轴
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114657527 A
(43)申请公布日 2022.06.24
(21)申请号 202210305301.X
(22)申请日 2022.03.25
(71)申请人 哈尔滨工业大学
地址 150000
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