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一种晶圆片覆膜装置及晶圆裂片装置,晶圆片覆膜装置包括:工作台、覆膜机构、上料机构。覆膜机构包括覆膜组件和膜片盒,工作台中心设有第一凹部,膜片盒设于第一凹部两侧,覆膜组件设于膜片盒上方,将膜片盒中的麦拉片转移至第一凹部中;上料机构设于覆膜机构一侧,用于向第一凹部中上料晶圆片。晶圆裂片装置还辊压机构,辊压机构设于覆膜机构另一侧,包括辊压组件和转移组件,辊压组件设于第一凹部上方,用于使晶圆片裂成晶粒,转移组件包括移动单元和翻转单元,移动单元将覆膜晶圆片移动至辊压组件下方,翻转单元将覆膜晶圆片转移至收集
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114678305 B
(45)授权公告日 2022.08.16
(21)申请号 202210581796.9 H01L 21/78 (2006.01)
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