- 1、本文档共20页,其中可免费阅读19页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明属于半导体晶圆清洗技术领域,尤其是一种单片式半导体基材清洗机,包括清洗机体和晶圆体,清洗机体的一侧设置有支撑柱,支撑柱的内部设置有齿轮组机构和驱动电机,支撑柱的一端下表面转动连接有清洗轴,清洗轴的下表面固定连接有伸缩气缸,伸缩气缸的活塞杆外表面固定连接有真空吸盘,支撑柱的表面设置有驱动机构,驱动机构包括反转减速电机。该单片式半导体基材清洗机,通过反转减速电机进行转动,带动转轴及涡流扇叶进行转动,从而可实现涡流扇叶使清洗液产生清洗漩涡,且减速电机的转动方向与清洗轴转动的方向相反,从而使得晶圆
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114669548 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 202210582470.8 H01L 21/67 (2006.01)
(22)申请日 2022.05
您可能关注的文档
- 一种用于制备检测样品的压片机.pdf
- 家用电梯对重装置结构.pdf
- 能源需量管理系统与方法.pdf
- 一种高空导地线多股断线智能修复机器人.pdf
- 一种多孔金属氧化物、碳复合材料的制备装置.pdf
- 车辆控制方法、装置、电子设备及存储介质.pdf
- 一种提高碱性检测试剂开瓶稳定性的方法.pdf
- 一种基于野狗优化算法的机械臂柔顺控制方法及系统.pdf
- 一种基于TBM掘进机的隧道施工方法.pdf
- 一种壳体粘贴密封装置.pdf
- DB13_T 6004-2024 单矿物的分选方法.pdf
- 厦门市塔式起重机安拆手册(2024版).pdf
- DB50_T 1699.2-2024 特种设备更新评估导则 第2部分:电梯.pdf
- DB13_T 5985-2024 土工管袋应用技术规范.pdf
- DB13_T 5986-2024 农村供水管网工程施工技术规程.pdf
- AI芯片项目员工绩效考评指标与设计.pdf
- 《数据库系统原理》课程教学大纲.pdf
- fluent中热场几种设置_解释说明以及概述.pdf
- 2022年河南科技学院数据科学与大数据技术专业《数据库系统原理》科目期末试卷A(有答案).pdf
- 一年级(上册)生字(注音加笔顺)-部编版.pdf
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)