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一种自适应控制的工业设备,所述工业设备包括底层控制器及上位机控制器,其中底层控制器包括多个信号输入输出端口与多个外设硬件连接,所述底层控制器通过数据线连接到上位机控制器,其特征在于:底层控制器和上位机控制器中至少存储有一个设备描述文件,底层控制器存储有底层控制器控制程序,用于对所述多个信号输入输出端口的信号进行处理;上位机控制器存储有上位机控制程序,用于对来自所述底层控制器的信号进行处理;所述底层控制器和上位机控制器中均包括一设备描述文件识别程序,用于读取所述设备描述文件,并根据所述设备描述文件
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114690696 A
(43)申请公布日 2022.07.01
(21)申请号 202011558397.8
(22)申请日 2020.12.25
(71)申请人 中微半导体设备(上海)股份有限公
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