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本发明公开了一种多层复合碳涂层及其制备方法和应用。该多层复合碳涂层包括由基材表面向外依次形成的至少包括金属底层,类金刚石层的过渡层和类石墨层的导电功能层;过渡层中SP3结构的碳含量为70at%以上;导电功能层中SP2结构的碳含量为70at%以上。本申请的多层复合碳涂层结合力强,耐腐蚀性好。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114665114 A
(43)申请公布日 2022.06.24
(21)申请号 202210374433.8 C23C 14/06 (2006.01)
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