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本发明涉及体声波谐振器,包括:基底;声学镜;底电极;顶电极;和单晶压电层,设置在底电极与顶电极之间,其中:压电层的下表面与基底的上表面之间设置有支撑结构,压电层与基底大体平行布置;底电极和/或顶电极为间隙电极,所述间隙电极具有至少一个空隙层,在所述间隙电极的厚度方向上,所述空隙层与所述间隙电极的顶面与底面均存在距离;且所述支撑结构包括凹部,所述底电极设置在所述凹部中。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114696774 A
(43)申请公布日 2022.07.01
(21)申请号 202011633292.4
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 诺思(天津)微系统有限责任公司
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