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本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法,能够抑制形成基板的图案的崩坏。基板处理方法包括:淋洗工序,利用淋洗液(L2)来处理基板(W);浸渍工序,在淋洗工序之后,将基板(W)浸渍于贮存在处理槽(230)中的经稀释化的异丙醇(dIPA);第一异丙醇处理工序,在浸渍工序之后,利用异丙醇来处理基板(W);以及疏水处理工序,在第一异丙醇处理工序之后,对基板(W)进行疏水处理。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114695077 A
(43)申请公布日 2022.07.01
(21)申请号 202111585021.0
(22)申请日 2021.12.22
(30)优先权数据
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