- 1、本文档共40页,其中可免费阅读39页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种形成半导体装置的方法,其包含产生具有主图案集的原始布局;在微影系统的光瞳面上模拟原始布局的第一能量分布,其中第一能量分布具有第一波前;通过在原始布局的未由主图案集占据的区域中插入虚设图案集来产生第一经修改布局;在微影系统的光瞳面上模拟第一经修改布局的第二能量分布;判定经模拟第二能量分布的第二波前是否比第一能量分布的第一波前更均匀;以及因应于经模拟第二能量分布的第二波前被判定为比第一能量分布的第一波前更均匀,使用具有第一经修改布局的第一光罩执行第一微影制程。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114690547 A
(43)申请公布日 2022.07.01
(21)申请号 202210033688.8
(22)申请日 2022.01.12
(30)优先权数据
您可能关注的文档
- 一种沿空留巷复合顶板采动裂隙分区差异化注浆施工方法.pdf
- 显示装置.pdf
- 一种S-邻氯苯甘氨酸甲酯酒石酸盐有关物质的分析方法.pdf
- 有机电子装置用封装材料.pdf
- 长效抗菌材料涂层导尿管.pdf
- 一种感光性树脂组合物、固化膜及显示装置.pdf
- 存放用于测量温度变化气氛下提供的支撑构件的水平度的基板式传感器的方法及缓冲单元.pdf
- 一种用于高通量靶向测序的单管嵌套多重PCR扩增方法.pdf
- 用于机器隔间的封板和分隔壁.pdf
- 一种侧边孔输送带.pdf
- 《鹊桥仙》教学设计2024-2025学年统编版高中语文必修上册.docx
- 高中信息技术粤教版必修教学设计-3.1.3报刊类文本信息的加工与表达.docx
- Unit 2 Morals and Virtues Listening and Speaking 教学设计 -2023-2024学年高中英语人教版(2019)必修第三册.docx
- 七年级上册(2024修订) 第三单元 10 往事依依 任务式教学设计.docx
- 第1课 红领巾相约中国梦: 中国梦 我的梦(教学设计)粤教版六年级上册综合实践活动.docx
- 第1章 机械运动章末提升·核心素养教学设计----2024-2025学年人教版(2024)物理八年级上册.docx
- 模块1 第5部分 第4单元 第二次工业革命和近代科学文化2024年中考历史教学设计(深圳专用版).docx
- 湘艺版四年级上册音乐教案第十课 我心爱的小马车.docx
- 人教版(2019)高中英语选择性必修第二册 Unit1Science and Scientists Learning About Language(2) 名师教学设计.docx
- 西师大版二年级下册第三单元飞行音乐会教学设计.docx
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)