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一种载片台平整度的调节方法及装置,载片台包括多个支撑柱,支撑柱用于承载待承载物,方法包括:获取待承载物的异常区域及与异常区域对应的异常支撑柱;获得异常支撑柱对待承载物的作用区域;获得异常区域与作用区域的交叠面积;根据交叠面积获取异常支撑柱的调节模式。本发明实施例中,获取待承载物的异常区域及与异常区域对应的异常支撑柱后,根据异常支撑柱对待承载物的作用范围,获得异常区域与作用区域的交叠面积,根据交叠面积获取异常支撑柱的调节模式,避免盲目的调节异常支撑柱,使得异常支撑柱的调节有章可循,提高了待承载物平
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114688998 A
(43)申请公布日 2022.07.01
(21)申请号 202011640752.6 G06T 7/73 (2017.01)
(22)申请日 2020.12.3
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