具有重力场传感器的晶片搬运机械手.pdfVIP

具有重力场传感器的晶片搬运机械手.pdf

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公开了用于自动地确定及校正晶片搬运机械手末端执行器的水平度的技术和系统。所述系统可使用可针对该晶片搬运机械手进行校正的倾斜传感器或重力场传感器。来自该倾斜传感器的输出可被用于确定或估计该晶片搬运机械手的末端执行器的倾斜,并且用于执行修正定位以减少或去除该倾斜,以自动地教导具有已减少的倾斜的特定位置,以执行对该机械手的健康检查,将反馈提供至使用者,等等。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114730728 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080077575.7 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263

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