具有重力场传感器的晶片搬运机械手.pdfVIP

下载本文档

1
0
约3.49万字
约 31页
2023-05-15 发布于四川
举报
版权申诉

具有重力场传感器的晶片搬运机械手.pdf

1、本文档共31页，其中可免费阅读30页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

公开了用于自动地确定及校正晶片搬运机械手末端执行器的水平度的技术和系统。所述系统可使用可针对该晶片搬运机械手进行校正的倾斜传感器或重力场传感器。来自该倾斜传感器的输出可被用于确定或估计该晶片搬运机械手的末端执行器的倾斜，并且用于执行修正定位以减少或去除该倾斜，以自动地教导具有已减少的倾斜的特定位置，以执行对该机械手的健康检查，将反馈提供至使用者，等等。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114730728 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080077575.7 (74)专利代理机构上海胜康律师事务所 31263