一种MEMS陀螺.pdfVIP

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本发明提供了一种MEMS陀螺,包括锚点单元、弹性连接于锚点单元的传感单元、以及弹性连接于锚点单元和传感单元的驱动单元;锚点单元包括四个分别位于一矩形的四个角部位置的角部锚点结构和四个中心锚点;传感单元包括四个分别弹性连接于各角部锚点结构和对应的中心锚点之间且相互形成让位空间的第一质量块、以及分别位于各让位空间内的四个第二质量块和四个解耦质量块;第一质量块、第二质量块和解耦质量块均在矩形内;驱动单元包括四个分别连接于第二质量块外侧的驱动件。本发明的陀螺能够实现三个轴角速度独立检测,并且能够实现差分

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114719833 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210163479.5 (22)申请日 2022.02.22 (71)申请人 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 地址

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