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本发明提出了一种宽禁带功率半导体场效应晶体管动态特性测量装置及方法，装置包括动态特性测量电路模块以及数据采集模块；其中，所述动态特性测量电路模块用于向待测器件施加电压应力，进行动态特性测量；所述数据采集模块用于采集待测器件的电学参数；所述动态特性测量电路模块包括控制信号输出电路、电压应力施加电路以及钳位电路；其中，所述控制信号输出电路用于生成驱动信号控制所述电压应力施加电路的工作状态；所述电压应力施加电路用于对待测器件施加栅极电压应力以及漏极电压应力；所述钳位电路用于供所述数据采集模块采样待测器
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114720769 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210362114.5
(22)申请日 2022.04.07
(71)申请人 中山大学
地址 510275 广
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