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本发明提供一种基于热量回收的臭氧破坏装置及其臭氧破坏方法,该臭氧破坏装置通过设置预热温度监测件,对流出预热单元的气体温度进行实时监测,并以流动空气作为加热介质,当空气加热到设定预热温度阈值时及时通入臭氧废气开启正式的加热工作,减少了预热阶段的功耗;通过设置热量回收腔和位于热量回收腔内的加热管路,并将加热管路与催化单元的进气口连通、热量回收腔与催化单元的出气口连通,配合加热温度监测件,完成对臭氧废气由预热单元加热到高温净化气体加热的过渡,实现了对催化反应中热量的回收利用,提高了装置的能量利用率,显
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114699911 A
(43)申请公布日 2022.07.05
(21)申请号 202210373474.5
(22)申请日 2022.04.11
(71)申请人 苏州晶拓半导体科技有限公司
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