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本发明提供了一种三轴MEMS陀螺，包括基底、弹性连接于所述基底的传感单元、以及与所述传感单元耦合并驱动所述传感单元运动的驱动单元，所述基底包括四个分别位于一矩形的四个角部位置的锚点结构以及四个分别弹性连接于各所述锚点结构的耦合结构；所述驱动单元包括四个分别位于所述矩形四个角内部位置且一端分别和相邻的所述耦合结构弹性连接的驱动件；所述传感单元包括四个分别设置于各所述让位间隔内且弹性连接于相邻的所述耦合结构以形成矩形框架的X/Y质量块、以及四个分别弹性连接于所述驱动件且位于所述驱动件远离所述锚点结构
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114719834 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210230313.0
(22)申请日 2022.03.09
(71)申请人 瑞声开泰科技(武汉)有限公司
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