缺陷检查方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.37万字
约 24页
2023-05-15 发布于四川
举报
版权申诉

缺陷检查方法.pdf

1、本文档共24页，其中可免费阅读23页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明的实施方式提供缺陷检查方法，能够在缺陷检查装置中设定能够使缺陷的检测灵敏度最大，并且能够降低相对于DOI的滋扰的比率的缺陷检测条件。根据实施方式，缺陷检查方法使用缺陷检查装置，该缺陷检查装置对第一试样照射照明光并取得第一试样的图像，将参照图像与第一试样的图像进行比较来检查缺陷。缺陷检查方法具备：生成参照图像的工序；取得第一试样的图像的工序；使用基于与第一试样不同的第二试样的缺陷检查的结果的指标来设定缺陷检测条件的工序；以及根据对参照图像与第一试样的图像进行比较的结果，基于缺陷检测条件来判别

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114720482 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210003971.6 (22)申请日 2022.01.05 (30)优先权数据 2021-000536 202