用于管理基板释气的系统和方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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用于管理基板释气的系统和方法.pdf

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本揭示内容的实施方式涉及用于管理热处理腔室中的有机化合物的设备、系统和方法。气体管线可以与热处理腔室流体连通，并且排气泵可以通过排气导管耦接到热处理腔室，并且可以由流出物流量控制阀控制。设备包括取样管线，取样管线具有耦接到排气导管的有机化合物传感器。有机化合物传感器可以与控制模块通信，控制模块可以控制用于处理基板的操作参数。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114730722 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080078774.X (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理