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本发明公开了一种微波谐振腔。本发明微波谐振腔包括腔体和位于腔体内壁的表面的膜层，所述膜层由能够导热的电介质材料制成。本发明微波谐振腔内部膜层结构具有一定的热导率，可以更有效的将导电壁热点处产生的热量导到远离发热点的低温处，从而降低热点处的最大温升，进而降低热损耗导致的正反馈效应；内部膜层为电介质，不导电，与微波电磁场几乎不互相作用，故不会产生额外的热损耗；既而提高微波谐振腔整体的运行稳定性；内壁镀上化学性质稳定的电介质膜还可以起到保护作用，如硼化镁化学性质不稳定，遇水容易分解，无法进行高压超纯水
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114727471 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210252841.6 H05K 7/20 (2006.01)
(22)申请日 2022.03.1
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