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本发明公开了一种柱状靶材水冷旋转单元,涉及靶材冷却设备技术领域,能够在为柱状靶材提供旋转驱动以及供电的同时,还能够保证冷却效果。一种柱状靶材水冷旋转单元包括壳体、水冷单元、旋转驱动单元以及通电单元。水冷单元可转动地设置在壳体中。靶材设置在水冷单元端部。旋转驱动单元设置在水冷单元上。旋转驱动单元用于驱动水冷单元转动进而带动靶材转动。通电单元设置在壳体上并与水冷单元电连接。水冷单元在旋转驱动单元的驱动下,可以带动靶材旋转的同时冷却靶材。通电单元可以在接通水冷单元,为靶材通电。同时通过冷却单元与靶材的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114717523 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210214204.X
(22)申请日 2022.03.03
(71)申请人 四川艾庞机械科技有限公司
地址 6
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