一种柱状靶材水冷旋转单元.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.08万字
约 12页
2023-05-15 发布于北京
举报
版权申诉

一种柱状靶材水冷旋转单元.pdf

1、本文档共12页，其中可免费阅读11页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种柱状靶材水冷旋转单元，涉及靶材冷却设备技术领域，能够在为柱状靶材提供旋转驱动以及供电的同时，还能够保证冷却效果。一种柱状靶材水冷旋转单元包括壳体、水冷单元、旋转驱动单元以及通电单元。水冷单元可转动地设置在壳体中。靶材设置在水冷单元端部。旋转驱动单元设置在水冷单元上。旋转驱动单元用于驱动水冷单元转动进而带动靶材转动。通电单元设置在壳体上并与水冷单元电连接。水冷单元在旋转驱动单元的驱动下，可以带动靶材旋转的同时冷却靶材。通电单元可以在接通水冷单元，为靶材通电。同时通过冷却单元与靶材的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114717523 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210214204.X (22)申请日 2022.03.03 (71)申请人四川艾庞机械科技有限公司地址 6