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将器件在具有多个真空孔的基座板上面依次装载的步骤；在器件装载到所述基座板上的状态下，随着真空压的施加，将装载的器件用可微微移动的真空压吸引的步骤；位于所述基座板上部的对准视觉组件向需对准的器件上部移动以后下降的步骤；所述对准区将器件包住的状态下，通过通孔和开口部用视觉确认器件的位置后，将坐标值传输给控制部的步骤；根据所述器件的坐标值，使基座板向X‑Y‑θ方向微微移动，将器件引至开口部的二面对准的步骤；在每次器件装载到基座板上面时，将基座板向X‑Y轴方向按每一间距移动同时，对器件实施对准。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114729964 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202080083496.7 (74)专利代理机构 北京汇泽知识产权代理有限
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