一种组合式直热六硼化镧等离子体源.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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一种组合式直热六硼化镧等离子体源.pdf

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本发明公开了一种组合式直热六硼化镧等离子体源，它包括模块化组成的六硼化镧发射体，由导电电极首尾相连；所述发射体下方为多层复合结构组成的热反射、隔热背板，四周由热反射、隔热侧板包围；所述导电电极与六硼化镧模块之间以柔性石墨纸填充导电，对六硼化镧直热式加热；所述背板下方安装隔热支撑架，用于等离子体源整体安装。本发明具有结构简单，易于加工，加热效率高，工作寿命长，能产生大范围等离子体环境的优点。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114727467 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210385801.9 (22)申请日 2022.04.13 (71)申请人中国科学技术大学地址 23002