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本发明涉及热电偶技术领域，具体地说是一种超薄柔性热电偶及其制备方法。包括热电偶，其特征在于：所述的热电偶从下至上依次包括柔性衬底、铬膜、热电偶金属层、保护层，所述的热电偶金属层包括上下部分重叠的铜膜与康铜膜；其制备方法包括如下步骤：S1，在柔性衬底表面用气体等离子体或轰击柔性衬底表面；S2，采用磁控溅射系统在柔性衬底表面溅射铬膜；S3，采用磁控溅射系统在铬膜表面溅射铜膜；S4，采用磁控溅射系统在铬膜表面共溅射康铜膜；S5，在氮气气压下，在铜膜及康铜膜表面溅射保护层。同现有技术相比，成本较低，可以
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114717526 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202110001570.2
(22)申请日 2021.01.04
(71)申请人 华东师范大学
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