- 1、本文档共22页,其中可免费阅读21页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本公开提供一种存储器件、半导体结构及其形成方法,涉及半导体技术领域。该形成方法包括:提供衬底,衬底包括阵列区和位于阵列区外围的金属互连区;在金属互连区形成金属互连结构,金属互连结构包括多个叠层设置的金属布线层和连接于各金属布线层之间的多个连接柱,每层金属布线层均包括间隔分布的多个金属条,且相邻两层金属布线层的金属条错位分布,位于同一层的相邻两个金属条分别通过连接柱与其正下方的同一金属条连接。本公开的形成方法可提高产品良率,延长器件使用寿命。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114725099 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202110003956.7
(22)申请日 2021.01.04
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
地址 230
您可能关注的文档
- 一种流量过滤方法、装置、通信设备及可读存储介质.pdf
- 健康评价方法、装置及电子设备.pdf
- 系统信息的发送方法、接收方法、终端及基站.pdf
- 一种多线程程序实现方法、装置及相关设备.pdf
- 阈值配置方法、网络侧设备和计算机可读存储介质.pdf
- 问卷推送方法、装置、电子设备及可读存储介质.pdf
- 信道信息获取方法、装置及相关设备.pdf
- 网络切片的部署方法及装置.pdf
- 容器部署方法、装置、电子设备和计算机可读存储介质.pdf
- 水印插入方法、提取方法及装置.pdf
- 2024年金属纤维毡项目可行性研究报告.docx
- 2024年中国DCP架桥剂市场调查研究报告.docx
- 2010-2023历年福建省龙岩市第一中学分校七上阶段考试地理试卷(带解析).docx
- 2010-2023历年福建省德化一中高三上学期第二次质检物理试卷(带解析).docx
- 2010-2023历年福建省厦门市湖滨中学、厦门十中、启悟中学三校高三联考生物试卷.docx
- 2024年中国便携式气体报警仪市场调查研究报告.docx
- 2024年原木烤具柄项目可行性研究报告.docx
- 2024年中国设备演示箱市场调查研究报告.docx
- 2024年中国灯光转向器市场调查研究报告.docx
- 2010-2023历年福建省凤城教研片七年级下学期期中考试地理试卷(带解析).docx
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)