一种立式镀膜装置.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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一种立式镀膜装置.pdf

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本申请提供一种立式镀膜装置，涉及半导体制备技术领域，包括基座、镀膜机构以及转动设置于基座上的公转机构，在公转机构的周壁设置有载板，在载板上转动设置有用于放置平面基板的自转机构，公转机构的转动平面与自转机构的转动平面垂直，镀膜机构设置于基座且与平面基板对应，以此通过自转能够改变平面基板表面位置点与镀膜机构的距离，从而平衡各位置点距离的差异化，进而减小平面基板表面镀膜的横向散差，提高产品的均匀性和良率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114717531 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210404611.7 (22)申请日 2022.04.18 (71)申请人浙江水晶光电科技股份有限公司地址