图案形成方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及电子器件的制造方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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图案形成方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及电子器件的制造方法.pdf

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本发明提供一种图案形成方法、上述图案形成方法中所使用的光固化性树脂组合物、包括上述图案形成方法的层叠体的制造方法及包括上述图案形成方法的电子器件的制造方法或光固化性树脂组合物，所述图案形成方法包括：第1曝光工序，曝光由光固化性树脂组合物形成的光固化性膜的一部分；显影工序，通过显影液对上述曝光后的上述光固化性膜进行显影来获得显影图案；及第2曝光工序，曝光上述显影图案来获得图案，上述光固化性树脂组合物为特定组成。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114730145 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080080358.3 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任