一种振动电容式静电传感器结构.pdfVIP

下载本文档

4
0
约9.12千字
约 8页
2023-05-15 发布于北京
举报
版权申诉

一种振动电容式静电传感器结构.pdf

1、本文档共8页，其中可免费阅读7页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种振动电容式静电传感器结构，包括传感器主壳和内部隔层，所述传感器主壳两侧设有固定凹槽，所述固定凹槽间设有内部隔层，所述内部隔层上方设有振动装置，所述内部隔层下端设有信号处理电路板，所述振动装置内侧设有信号感应极板，所述传感器主壳一侧设有传感器副壳，所述传感器副壳测量端中部设有探测窗口，使用时，保持信号感应极板平行于试品表面，固定探测窗口与试品表面距离，试品表面带静电时，信号感应极板受感应带电，通电后，振动装置振动，周期性屏蔽信号感应极板，产生周期性交变电流信号，将此信号引入信号处理

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114720784 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210189449.1 (22)申请日 2022.02.28 (71)申请人无锡研平电子科技有限公司地址 2